微小硬さ試験機
ピコデンター


フィッシャーの高精度硬さ試験機

ナノメーター・レベルの圧子制御

薄膜の硬度や弾性特性を測定

 

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ピコデンターHM500

PICODENTOR® HM500

40pm以下の圧子押し込み深さ距離分解能 (荷重分解能100nN以下) を持つシリーズ最上位モデル。御影石の構造体上に作りこんだシステムでアクティブ除振台に載せ、且つ防風チャンバーに入っています。AFMはオプション。薄膜・微細構造物・メッキ断面の硬度測定などに最適。


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HM2000
FISCHERSCOPE® HM2000

10pm以下の圧子押し込み深さ距離分解能(荷重分解能150nN以下)の特性を持つ標準機、ISO14577準拠のマイクロ硬度試験および材料パラメータ測定のためのPC制御の測定システム、ISO14577、DIN50359およびDIN55676(案) に準じてマルテンス硬さをプログラマブルXYステージで測定

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HM2000S 手動式硬さ計   
FISCHERSCOPE® HM2000S

10pm以下の圧子押し込み深さ距離分解能 (荷重分解能150nN以下) の高性能を持っており上位機種と同じ精度のヘッドで硬度測定できます。小型の箱の中にPCで制御できる高性能測定ヘッドが入っており下から上に向かって測定します。小型測定器で、現場や大きなサンプルの測定もできます。

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微小硬さ試験機の特徴

微小硬さ試験機(ピコデンター)とは、DIN EN ISO 14577 準拠のインデンテーション試験法に基づくマルテンス硬さ値 HM (もしくはユニバーサル硬さ値 HU) や弾性特性値を計測する高精度な硬さ試験機です。半導体素子、MEMS、超微細構造物など測定ポイントが小さい場合はXY方向の位置決めが重要になりま す。また極薄膜の硬さ測定をする場合は、下地の影響を排除するために極薄膜の表面のごく一部だけを使用して、微小硬さ試験をするので、測定ヘッドのZ方向 の高精度化と圧子の先端形状が重要になります。

微 小硬さ試験機のダイナミック測定では、圧子に荷重をかけて出来た圧痕の深さをその場で直読し硬さを求める測定法です。圧子に対する荷重が超微小な単位で制 御でき、かつ圧子の沈み込み深さも10ピコメーター (pm) 以下の分解能で連続的に読取りを行い、ソフトウエア処理ができます。

従 来のビッカース硬さ測定法のように、圧痕開口部の対角線長を手動で光学測定するのではなく、圧痕をつけるときの沈み込み深さと荷重 (試験力)をワンステップでデジタル測定するので自動化・迅速化・高精度化がはかれます。圧痕深さとその開口部の形状は正確に関連するので、弾性特性分析 ができる上に、自動化・高精度化ができる圧子痕深さ測定は理にかなった方式として規格化されています。